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热门关键词: 两路混气CVD系统

两路混气CVD系统搭建:1200℃管式炉+浮子流量计

  • 品牌:SGM
  • 别称:
  • 类型:高温管式炉
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    1200℃管式炉CVD系统广泛适用于高、中、低温CVD工艺,如:碳纳米管的研制、晶体硅基板镀膜、纳米氧化锌结构的可控生长等等;也可适用于金属材料的扩展焊接以及真空或保护气氛下热处理.


    SGM 1200℃管式炉CVD系统专门设计用于高温材料沉积之用。1200℃管式炉CVD系统具有温度均匀、控制稳定、温区间温度扰动小、升温速度快、节能、使用温度高、寿命长等特点。 

    两路气体CVD系统产品特点:  

    1、1200℃管式采用优质电炉丝加热。
    2、炉管为刚玉炉管炉膛,
    3、可预抽真空,便于通入参加反应的气体,进口单回路智能温度控制仪控制、温区设计隔板结构。
    4、管式炉有单管、双管、卧式、可开启式、立式、单温区、双温区、三温区等多种管式炉型。

    两路气体CVD系统技术参数

    1

    产品名称

    秒速飞艇技巧 1200℃单温区经济型两路气体CVD系统

    2

    常规型号

    SGM-O1200-50IC150-D2FH

    3

    SGM-O1200-60IC150-D2FH

    4

    SGM-O1200-80IC150-D2FH

    5

    SGM-O1200-100IC150-D2FH

    6

    秒速飞艇技巧 炉膛模式

    开启式

    7

    显示模式

    高亮数码管显示(LED)

    8

    秒速飞艇技巧 炉膛材料

    进口纤维

    9

    秒速飞艇技巧 加热元件

    秒速飞艇技巧 进口合金加热丝

    10

    极限温度

    1200℃

    11

    工作温度

    ≤1150℃

    12

    升温速率

    ≤20℃(建议:10℃/min)

    13

    加热温区

    单温区

    14

    温区长度

    440mm

    15

    恒温区长

    200mm

    16

    炉管材质

    高纯石英

    17

    炉管常规直径

    50mm

    18

    60mm

    19

    80mm

    20

    100mm

    21

    炉管长度

    1000mm

    22

    密封方式

    不锈钢真空法兰

    23

    秒速飞艇技巧 气 密 性

    真空法兰和石英炉管的气密性*高可达4。03×10-3Pa

    24

    控制模式

    智能PID多段程序控温

    25

    控温精度

    ±1℃

    26

    温度曲线

    多段"时间—温度曲线"任意可设

    27

    预存曲线

    可预存1条温度曲线

    28

    电流监控

    指针式电流计

    29

    电压监控

    指针式电压计

    30

    超温报警

    31

    过流保护

    32

    断偶提示

    33

    测温元件

    K型热电偶

    34

    电气认证

    CE认证

    35

    供电电源

    220V 50Hz~60Hz

    36

    整机功率

    2.5KW

    37

    气体通道

    可连接3种气源

    38

    流 量 计

    浮子流量计

    39

    A路量程

    10~100ml/min

    40

    B路量程

    16~160ml/min

    41

    气路压力

    -0.1~0.15 MPa

    42

    系统真空 

    5~10Pa(需要达到其它真空度时,需选配不同的抽真空装置)

    43

    泵路链接

    KF16不锈钢波纹管、KF16卡箍、KF16挡板阀

    44

    真 空 计

    标准配置机械真空计,也可选配电子真空计

    45

    售后服务

    12个月质保,终身保修

    46

    包装形式

    木箱或简装

    47

    随机配件

    石英炉管、真空法兰、炉管堵塞、O型密封圈、坩埚炉钩、说明书、聚四氟管、不锈钢卡套接头、不锈钢波纹管、KF转接头、5mm内六角扳手。

    48

    整套尺寸

    左右:700mm;前后:600mm;高度:1190mm



    CVD气相沉积法设备搭建方法
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    • 地址:洛阳高新区火炬创新创业园A6 实验电炉研发中心

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