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多路浮子流量计供气系统

PECVD系统的中文名是等离子增强化学气相沉积系统。多路浮子流量计或质子供气系统是PECVD系统应用中不可缺少的配套设备。

多路浮子流量计供气系统介绍:

秒速飞艇技巧 1.气体从钢瓶出来,经过减压阀减压,通过四氟管到供气系统的入口,再经过锚点质子流量计控制气体流量,然后经过混气罐,再进入炉子进气口,气体从出气管出来,经过三通阀门,一端连接真空泵,一端连接出气口。

2.混气罐上接有压力表,压力表显数盘锚点与质子流量计安装在同一面板上。

3.每一条气体管路均有一个高压截止阀,安全有保证。

4.该气路采用高精度气体浮子流量计,气路内部全采用四氟管,耐腐蚀性好。

5.所有接头采用卡套连接,气密性好,耐压高。

多路浮子流量计供气系统技术参数:

气路通道:2、3、4、5(可选配)

气路流量控制:浮子流量控制器。

接口:Φ6

显示:刻度

工作环境温度:5~45℃

流量控制器:浮子流量计

10-100ml/min2ml/格

秒速飞艇技巧 10-100ml/min2ml/格

10-100ml/min2ml/格

四氟管:Φ6外XΦ4内

压力真空表:-0.1~0.15MPa,0.01MPa/格

截止阀:Φ6

 

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