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热门关键词: 1700℃单温区三通道混气CVD系统 1700℃单温区三通道混气CVD系统

1700℃单温区三通道混气CVD系统|1700℃三通道混气CVD系统

  • 品牌:SGM
  • 别称:1700℃单温区三通道混气CVD系统
  • 类型:真空炉
  • 规格:单温区、双温区、三温区、双通道、三通道
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    1700℃单温区三通道混气CVD系统是一款CE认证的管式炉CVD系统,其真空泵采用双旋片式,混气系统采用三路浮子供气系统,*高温度可以达到1700°C,真空度可达到5x10-2 torr ,可以混合1-3种气体。

    1700℃单温区三通道混气CVD系统应用范围:

    1700℃单温区三通道混气CVD系统主要用于真空烧结、气氛保护性烧结、真空镀膜 各种材料煅烧、需要温度梯度的各种CVD实验。

    1700℃单温区三通道混气CVD系统结构特点:

    CVD 管式炉采用双层壳体结构,炉膛采用氧化铝纤维材料,能使样品加热到1700℃ 。左法兰上安装一个数字式真空显示计,右法兰上安装有一KF-25 接口,可以与机械泵相连接(抽速为226L/m)。同时左法兰上安装有φ6.35的卡套接头,使得炉体可与混气系统相连接。*的控温系统提供30段升温和降温程序,其控温*度为+/- 1  ℃   。

    1700℃单温区三通道混气CVD系统技术参数:

    电炉名称 1700℃单温区三通道混气CVD系统
    管式炉结构 采用双层壳体结构,并带有分冷,使得壳体表面的温度小于55°C.
    保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维可以环保节能,减少热量的损失
    内炉膛表面涂有优质高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命
    加热元件 1800 grade MoSi2 ( 8根)
    *高工作温度 1700℃
    *大升温速率 5℃/min
    *大降温速率 5℃/min
    加热区长度 455mm (18")
    恒温区长度 150(+/-1℃) 
    注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。
    温控系统 一个精密温度控制器 PID方式控制,通过可控硅 SCR
    可设置30段升降温程序
    控温仪表操作视频
    带有过热和断偶保护
    控温精度 +/-1℃
    炉管材质和尺寸 99.8% 高纯氧化铝 Al2O3 陶瓷管
    (标配)OD: 60 mm:ID: 52mm x1000 mm length
    (选配)OD: 80 mm:ID: 72mm x1000 mm length
    密封法兰 两个不锈钢密封法兰,法兰上已经安装机械压力表(图片中的蓝表为选配)和阀门
    通过机械泵真空压力可以达到5x10-2 torr
    泄漏率*大6 mtorr/min
    输入电源 AC 208~240V, 单相, 50/60Hz, 功率:*大5KW
    真空泵和配件 真空泵 一个双旋片式机械泵安装在移动架内
    通过此机械泵真空度可以达到 5x10^-2 torr
    配件 标配的真空配件: 一对不锈钢 密封法兰和KF-25 真空泵接口,两个不锈钢针阀, 1/4"的软管接头
    一个1000mm长的KF-25 不锈钢波纹管和四个KF-25不锈钢快速卸装卡箍
    可选:本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。
    气体流量计 3个浮子流量计(*度4%FS)安装在一个移动架上,可以推动,可同时混入三种不同气体
    *路气体流量范围为10-100 cc/min
    第二路气体流量范围为16-160 cc/min
    第三路气体流量范围为25-250 cc/min
    一个压力表安装在移动加上,压力表直接于移动架内的混气箱相连接 ,来监测混合气体的压力
    四个不锈钢针阀安装在前面板上

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